クリーンルームとは、フィルターを通してきれいな空気を取り込み、排気させるという空気循環の仕組みがある部屋のことです。
フィルター以外からは空気を取り込めないよう圧力を高くしています。
このおかげで通常よりは、ゴミの少ないきれいな空間ができます。
清浄度は、クラスが分けれていてクラス10,000とクラス1,000といように表されます。
クラスの値が小さいほど清浄度の高い空間となりますが、その分設備は高くなり、部屋の大きさにも比例してさらに高額になってきます。
そのため、その変わりとして、部屋全体ではなく、作業スペース分や1装置分のスペースの清浄度を高く保つ設備としてクリーンブースというものがあります。
クリーンルームの中で、このスペースはもっと清浄度を高めたいというときに設置されます。
クラスとしてはクリーンルームの仕様より低い値のものを選びます。
部屋全体を改造するのでは高額となるため、クリーンブースを設置することはリーズナブルな対応となります。
クリーンルームとは、空気中の微粒子の量が管理された部屋を指します。
微粒子の量が少なければ少ないほど空気がきれいな状態になります。
一方で、クリーンルームを必要とする分野としては、半導体製造や医療の現場です。
また食品などを加工する場所でも異物混入を避けるためにも必要です。
一方でクリーンルームといっても空気の清浄度は変わってきます。
半導体などを製造する現場ではわずかな微粒子であっても混入すると不良の原因になりますし、医療用の場合には患者に対して細菌やウイルスが侵入しないように、または周囲に拡散しないようにするといったことが求められます。
このためクリーンルームには基準となるクラスが設定されています。
これは国際統一規格であるISO規格によって運用されており、もっとも清浄度であるクラス1では、1立方フィート内に0.2μmの微粒子が2個以下、0.1μmの微粒子が10個以下であることが求められます。
これは半導体工場に求められます。
部屋が広くなるほどこれらを維持するのは難しいため高度な清浄度が必要な場合には一部のエリアやブースを設けて一部だけ清浄度を上げるといった方法がとられます。
2022/4/21 更新
『クリーンルーム クラス』
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